Enhancing Focused Electron Beam-Induced Deposition Through Electron-Induced Fluorescence

Výzva	Štipendiá pre excelentných výskumníkov a výskumníčky R2-R4
Hlavný riešiteľ	Ján Blaško
Prijímateľ	Univerzita Komenského v Bratislave
Celkový rozpočet	148 306,80 €
Príspevok poskytovateľa	148 306,80 €
Zdroj financovania	Plán obnovy a odolnosti
Začiatok realizácie	január 2025
Koniec realizácie	august 2026
Kategória výskumníka	R2
Vedná oblasť	Fyzikálne, technické vedy a matematika

Anotácia

Focused Electron Beam-Induced Deposition (FEBID) je špičková nanofabrikačná technika s rôznymi aplikáciami v mikroelektronike a iných priemyselných odvetviach. Čelí však výzvam súvisiacim s kontrolou šírky nánosu a čistotou nánosu. Cieľom tohto projektu je riešiť tieto výzvy vykonaním experimentov s použitím elektrónom indukovaného fluorescenčného prístroja (EIFA) na štúdium procesov fragmentácie na rôznych energetických úrovniach. Výskum sa zameria na vybrané prekurzory FEBID a zmeria 2D a 3D spektrálne mapy, excitačno-emisné funkcie a efektívne prierezy. Štúdia je životne dôležitá na dosiahnutie čistého ukladania kovov bez kontaminácie ligandom, čo je nevyhnutné pre optimálne výsledky FEBID. Tento projekt využíva špecializované vybavenie a odborné znalosti v oblasti interakcií elektrónov a molekúl a ponúka cenné poznatky o nanotechnológii a procesoch ukladania materiálov. Kľúčové slová: Focused Electron Beam-Induced Deposition (FEBID), Electron-Induced Fluorescence Apparatus (EIFA), fragmentačné procesy, čistota depozitu, nanotechnológia, depozícia materiálu, interakcie elektrónov a molekúl.